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详细说明

场发射扫描电子显微镜

       产品型号:SEM5000X


       SEM5000X 是一款超高分辨率场发射扫描电镜,电子光学镜筒设计优化,综合像差降低了 30%,

       从而达到了 0.5 nm@15 kV 和 1.0 nm@1 kV 的超高分辨率。超高分辨率和高稳定性,

       可在先进纳米结构和纳米材料的研究、高端芯片半导体的研发制造等领域发挥其性能优势。


商品说明
  • 超高分辨率成像,达到了突破性的0.5 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

  • 样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术,挑战极限样品拍摄场景

  • 高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计,可搭配整体罩壳设计,极大减弱环境对极限分辨率的影响

  • 最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm)的快速换样仓,满足半导体和科研应用需求



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